三、伺服動作要求
       100W伺服電機通過同步帶帶動連桿快速正反轉(zhuǎn)實現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移，逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時，馬達要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準確；2.客戶要求每個動作周期盡量的快，由此對伺服的響應(yīng)有較高要求。 
通過伺服增益參數(shù)的調(diào)整，終可以實現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內(nèi)完成整定，整個固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認可。 
伺服參數(shù)設(shè)定

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